產品簡介：

FS4001系列實驗室氣體流量傳感器是專門為各類(lei)小流量(liang)(liang)氣體的測量(liang)(liang)和過(guo)程(cheng)控制而設(she)計的。這(zhe)一系(xi)列傳感器(qi)均采用本公(gong)司自主研發的微機電(dian)系(xi)統（MEMS）流(liu)量傳感芯片(pian)來制(zhi)作。

FS4001系列實驗室氣體流量傳感器適(shi)用于各(ge)(ge)類清潔氣(qi)體(ti)。*的封(feng)裝(zhuang)技(ji)術使之可用于各(ge)(ge)類管徑，成本低、易安裝(zhuang)、不需要溫度(du)壓力(li)補償，可替代容積式或(huo)壓差式的傳(chuan)統流量傳(chuan)感器。

產品特點：
  - 傳感(gan)器靈敏度高,有(you)極小的始動流量
  - 傳感器芯片(pian)采用熱質量(liang)流量(liang)計量(liang),無需溫度壓力補(bu)償,保證了傳
  - 感器的高(gao)精度計量
  - 在(zai)單(dan)個(ge)芯片上實現了多(duo)傳感器集成,使傳感器的量程比大大提(ti)高
  - 傳感器(qi)的零點(dian)穩定度高
  - 全量程(cheng)高(gao)穩定性
  - 全量程高精確度和優(you)良的(de)重復性
  - 低功耗
  - 低壓損
  - 響應時間(jian)快(kuai)

機械尺寸(cun)：

主要參數：