產品時間(jian)：2021-08-27
FS4001系(xi)列測(ce)量(liang)(liang)氣(qi)體流量(liang)(liang)傳感器是專門為各類(lei)小流量(liang)(liang)氣(qi)體的(de)測(ce)量(liang)(liang)和(he)過程控(kong)制而(er)設計(ji)的(de)。這一系(xi)列傳感器均(jun)采用本(ben)公司(si)自主研(yan)發的(de)微機電系(xi)統(tong)（MEMS）流量(liang)(liang)傳感芯(xin)片來制作，適用于各類(lei)清(qing)潔氣(qi)體。
簡介：
FS4001系列測量氣體流量傳感器是專門(men)為各類小流量氣(qi)體的測(ce)量和(he)過程(cheng)控制而設(she)計的。這一系(xi)列傳感(gan)器均采用(yong)本公司自主(zhu)研發的微機電系(xi)統（MEMS）流量(liang)傳感芯片來制(zhi)作。
FS4001系列測量氣體流量傳感器適用(yong)于各(ge)類清潔氣體。*的(de)封(feng)裝技術使(shi)之(zhi)可用(yong)于各(ge)類管徑，成(cheng)本低、易安裝、不需要(yao)溫度(du)壓力補償，可替代容積式(shi)或壓差(cha)式(shi)的(de)傳統流量傳感器。
產品特點：
- 傳感器靈(ling)敏度高,有極(ji)小的始(shi)動流(liu)量
- 傳感(gan)器芯片采(cai)用熱質量(liang)流(liu)量(liang)計量(liang),無需溫(wen)度壓力(li)補(bu)償,保(bao)證(zheng)了傳
- 感器的高精度計量
- 在單個(ge)芯片上實現了多傳感器集成(cheng),使(shi)傳(chuan)感器的量程比大大提高
- 傳感器(qi)的零點穩定(ding)度高
- 全量程高穩定性
- 全量程(cheng)高精確度和優良(liang)的重(zhong)復性(xing)
- 低功耗
- 低壓(ya)損
- 響應時間(jian)快
主(zhu)要參數：
性(xing)能參數 | FS4001 | 單位 | |
通(tong) 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程(cheng)比(bi) | >100：1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸出(chu)飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響(xiang)應時(shi)間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出(chu)方式 | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大(da)流量(liang)壓損(sun) | 350 | 300 | pa |
大工(gong)作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作(zuo)濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 | 可(ke)拆式軟管接頭 |
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校準方式 | 空氣（或(huo)其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量 | 15 | g | |
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
