產品時(shi)間(jian)：2021-08-27
FS4001系列氣體(ti)流量(liang)監(jian)測(ce)傳感器適用于各類(lei)(lei)清潔氣體(ti)。*的(de)封裝技術使(shi)之可用于各類(lei)(lei)管徑，成(cheng)本低、易安裝、不需要溫度壓(ya)(ya)力補償，可替代容積式或壓(ya)(ya)差式的(de)傳統流量(liang)傳感器。
產品簡介：
FS4001系列氣體流量監測傳感器是專門(men)為各類小流(liu)量氣體(ti)的測(ce)量和過程控制而(er)設計(ji)的。這一系列傳感(gan)器均采(cai)用本公(gong)司(si)自(zi)主研(yan)發的微(wei)機(ji)電(dian)系統（MEMS）流(liu)量傳感芯片來制(zhi)作。
FS4001系列氣體流量監測傳感器適用于(yu)各類(lei)清潔氣體。*的封(feng)裝技術使之(zhi)可用于(yu)各類(lei)管徑，成本低、易安(an)裝、不需(xu)要溫度壓(ya)力補償，可替代容(rong)積式或壓(ya)差式的傳統流量(liang)傳感(gan)器。
產品特點：
- 傳感器(qi)靈敏度高,有極小的始動流量
- 傳感(gan)器芯片(pian)采用熱(re)質量流量計(ji)量,無需(xu)溫度壓力補償,保證了傳
- 感器(qi)的高精度計量
- 在單個(ge)芯片上實(shi)現了多(duo)傳感(gan)器集成,使傳感器(qi)的量程比大(da)大(da)提(ti)高
- 傳感器的零點穩定度高(gao)
- 全量(liang)程高穩定性
- 全(quan)量程高(gao)精(jing)確度和優(you)良(liang)的(de)重復性(xing)
- 低功耗
- 低壓(ya)損
- 響應時間快
機械尺寸(cun)：
主要(yao)參(can)數：
性能參(can)數 | FS4001 | 單位 | |
通 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流(liu)量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | >100：1 |
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精 度(du) | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸(shu)出飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間(jian) | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | 線性(xing)，RS232/模擬(ni)電(dian)壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 350 | 300 | pa |
大工作壓(ya)力(li) | 0.5 | MPa | |
工(gong)作溫(wen)度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度(du) | -20 ~ +65 | oC | |
工(gong)作濕度 | <95%RH（無(wu)結冰、無(wu)凝露） |
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機(ji)械接口 | 可拆式軟(ruan)管接頭 |
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校準方式 | 空氣（或其他(ta)氣體(ti)），20oC，101.325kPa |
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重量 | 15 | g | |
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
