產品時間：2021-08-31
微小氣(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)量計FS4001專門為各(ge)類小流(liu)(liu)量氣(qi)(qi)體(ti)的(de)(de)測量和過程控制(zhi)而設(she)計的(de)(de)。這一系列傳(chuan)(chuan)感器(qi)均采用(yong)本(ben)公司自主研發的(de)(de)微機電系統（MEMS）流(liu)(liu)量傳(chuan)(chuan)感芯(xin)片來制(zhi)作(zuo)，適(shi)用(yong)于(yu)各(ge)類清潔氣(qi)(qi)體(ti)。*的(de)(de)封(feng)裝(zhuang)技術使之可用(yong)于(yu)各(ge)類管徑(jing)，成本(ben)低、易安裝(zhuang)、不需(xu)要(yao)溫度壓(ya)力補(bu)償，可替代容積式或壓(ya)差式的(de)(de)傳(chuan)(chuan)統流(liu)(liu)量傳(chuan)(chuan)感器(qi)。
微小氣體流量計FS4001產品簡介：
FS4001系列(lie)小流量氣體質(zhi)量流量傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)是(shi)廣州(zhou)迪川儀器(qi)(qi)儀表有限公司(si)專門(men)為各類小流量氣體的測量和(he)過程(cheng)控制而設計的。這一系列(lie)傳(chuan)感(gan)器(qi)(qi)均采用本公司(si)自主研發的微(wei)機電系統（MEMS）流量傳(chuan)(chuan)感芯片來(lai)制作，適用(yong)于各(ge)(ge)類清潔氣體。*的封(feng)裝技(ji)術使之(zhi)可用(yong)于各(ge)(ge)類管徑，成本低、易安裝、不需(xu)要溫度壓力補償，可替代容(rong)積式或壓差式的傳(chuan)(chuan)統流量傳(chuan)(chuan)感器。
微小氣體流量計FS4001產品特(te)點：
- 傳(chuan)感器靈敏(min)度高,有極小(xiao)的(de)始(shi)動流量(liang)
- 傳感器芯片采用熱質量流量計(ji)量,無(wu)需溫度壓力補償(chang),保(bao)證了傳
- 感器的高精(jing)度計量
- 在單(dan)個芯片上實現(xian)了多傳感(gan)器(qi)集成,使傳感器的量(liang)程比大大提高(gao)
- 傳感(gan)器(qi)的零點穩定度高
- 全量程(cheng)高穩(wen)定性
- 全量程高(gao)精(jing)度和(he)優良的(de)重復性(xing)
- 低功耗(hao)
- 低壓損
- 響應時間快
主要參數： FS4001系列(lie)微小(xiao)流量計
性能參數 | FS4001 | 單位 | |
通(tong) 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量 | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程(cheng)比(bi) | 2132132132131231312100:1 |
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精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重(zhong)復性 | 0.25 | %讀數 | |
零點輸出飄移(yi) | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應(ying)時間(jian) | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工作電(dian)源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | 線性，RS232/模擬(ni)電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損(sun) | 350 | 300 | pa |
大(da)工作壓(ya)力 | 0.5 | MPa | |
工(gong)作(zuo)溫度 | -10 ~ +55 | oC | |
存儲溫度 | -20 ~ +65 | oC | |
工作濕度 | <95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 | 可拆式軟管接頭 |
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校準方(fang)式 | 空(kong)氣(qi)（或其(qi)他氣(qi)體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量(liang) | 15 | g | |
FS4001系列微小流量計訂(ding)貨詳情請： 85628522
86-020-31199948/85550363
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