FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器

產品(pin)時間：2021-08-27

簡要描述：

FS4001系(xi)列(lie)(lie)小(xiao)(xiao)流(liu)量(liang)(liang)氣(qi)體質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)感器是專(zhuan)門為各類(lei)小(xiao)(xiao)流(liu)量(liang)(liang)氣(qi)體的(de)(de)(de)(de)測(ce)量(liang)(liang)和(he)過程(cheng)控制而設計(ji)的(de)(de)(de)(de)。這一系(xi)列(lie)(lie)傳(chuan)感器均采用本(ben)公司自主研發的(de)(de)(de)(de)微(wei)機電系(xi)統(tong)（MEMS）流(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)感芯片來(lai)制作，適用于各類(lei)清(qing)潔氣(qi)體。*的(de)(de)(de)(de)封裝技術(shu)使之可用于各類(lei)管徑，成(cheng)本(ben)低、易安裝、不需要(yao)溫度壓力補(bu)償(chang)，可替代容(rong)積(ji)式或(huo)壓差(cha)式的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)統(tong)流(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)感器。

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詳細介紹

產(chan)品簡介：

FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器。

產品特(te)點：

FS4001系列小流量氣體質量流量傳感器靈敏(min)度(du)高(gao)(gao),有小的始動流(liu)(liu)量(liang)(liang)傳(chuan)感(gan)器芯片(pian)采用熱質量(liang)(liang)流(liu)(liu)量(liang)(liang)計量(liang)(liang),無(wu)需溫度(du)壓(ya)力補償,保證(zheng)了傳(chuan)感(gan)器的高(gao)(gao)精(jing)度(du)計量(liang)(liang)在單(dan)個芯片(pian)上實現了多(duo)傳(chuan)感(gan)器集成,使傳(chuan)感(gan)器的量(liang)(liang)程(cheng)比大大提(ti)高(gao)(gao)傳(chuan)感(gan)器的零點穩(wen)定(ding)(ding)度(du)高(gao)(gao)全量(liang)(liang)程(cheng)高(gao)(gao)穩(wen)定(ding)(ding)性全量(liang)(liang)程(cheng)高(gao)(gao)精(jing)確度(du)和優良(liang)的重復性低功(gong)耗低壓(ya)損(sun)響應時間快(kuai)
主要(yao)參(can)數：

性能(neng)參數(shu)	FS4001		單位
通(tong) 徑(jing)	1.0	1.8	mm
大流(liu)量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程比	≥100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重復(fu)性	0.25		%讀數
零點輸出飄移	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響應時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工(gong)作電源	8~18Vdc,50mA
輸(shu)出(chu)方(fang)式	線性(xing)，RS232/模(mo)擬(ni)電壓0.5~4.5Vdc
大(da)流量壓(ya)損	350	300	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工作(zuo)溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wen)度(du)	-20 ~ +65		oC
工作(zuo)濕度	<95%RH（無結冰、無凝露(lu)）
機(ji)械接口	可拆(chai)式軟管接頭
校準方式(shi)	空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa
重(zhong)量	15		g