產品時間：2021-08-30
mf4001廣(guang)東微小口徑氣體(ti)質量(liang)流量(liang)計(ji)是專門為各類小流量(liang)氣體(ti)的(de)(de)測量(liang)和過程控制(zhi)(zhi)而設計(ji)的(de)(de)。這一系(xi)列傳感器均采用(yong)本公司自主研發的(de)(de)微機電系(xi)統（MEMS）流量(liang)傳感芯片來制(zhi)(zhi)作，適用(yong)于(yu)各類清潔氣體(ti)。*的(de)(de)封(feng)裝技術(shu)使之可用(yong)于(yu)各類管徑，成本低、易安(an)裝、不需要溫度壓(ya)力補(bu)償，可替代(dai)容積式或壓(ya)差式的(de)(de)傳統流量(liang)傳感器。
mf4001廣東微小口徑氣體質量流量計產品特點：
- 傳感器靈敏度高(gao),有極(ji)小的始動流量
- 傳感器芯片采用(yong)熱(re)質量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)量(liang),無需(xu)溫度壓力補(bu)償,保證了傳
- 感(gan)器(qi)的高精(jing)度(du)計量
- 在單個芯片上實現(xian)了多傳感器集(ji)成,使(shi)傳感器的量程比大大提高
- 傳感器的零點穩定度高
- 全量程高穩定性
- 全量程高(gao)精確度和優良的重復性
- 低功耗(hao)
- 低壓損
- 響應(ying)時間(jian)快(kuai)
mf4001廣東微小口徑氣體質量流量計機械尺寸：
主要參數：
性(xing)能參數 | FS4001 | 單位 | |
通(tong) 徑 | 1.0 | 1.8 | mm |
大流量(liang) | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
量程比 | >100：1 |
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精(jing) 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
重復(fu)性 | 0.25 | %讀數(shu) | |
零(ling)點(dian)輸出(chu)飄移 | ±30 | mV | |
輸出飄移 | ±0.12 | %/oC | |
響應時間 | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
工(gong)作電(dian)源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式(shi) | 線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 350 | 300 | pa |
大工作壓力 | 0.5 | MPa | |
工作溫度(du) | -10 ~ +55 | oC | |
存儲(chu)溫(wen)度 | -20 ~ +65 | oC | |
工(gong)作濕(shi)度 | <95%RH（無結冰、無凝露） |
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機械接口 | 可拆(chai)式(shi)軟管接頭 |
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校準(zhun)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC，101.325kPa |
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重(zhong)量(liang) | 15 | g | |
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
