fs4001小流量氣體質量流量傳感器

產品時間(jian)：2021-08-31

簡要描述：

siargo ltd fs4001小流(liu)量氣(qi)體質量流(liu)量傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器是專門(men)為各類小流(liu)量氣(qi)體的測量和過程控制(zhi)而設計的。這一系(xi)列(lie)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器均采用本(ben)公司自主(zhu)研發的微機電系(xi)統（MEMS）流(liu)量傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)芯(xin)片來制(zhi)作，適用于各類清(qing)潔氣(qi)體。*的封裝技術使之可用于各類管徑，成本(ben)低(di)、易安裝、不需要溫(wen)度壓(ya)(ya)力補償，可替(ti)代容積式或壓(ya)(ya)差式的傳(chuan)統流(liu)量傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器。

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詳細介紹

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fs4001小流量氣體質量流量傳感器

產品特點：傳感器(qi)(qi)靈敏度高,有極小的(de)(de)始動流量(liang)(liang)傳感器(qi)(qi)芯片(pian)采用熱質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計量(liang)(liang),無需溫(wen)度壓(ya)力(li)補償,保證了傳感器(qi)(qi)的(de)(de)高精(jing)度計量(liang)(liang)在單個芯片(pian)上實現了多傳感器(qi)(qi)集成,使傳感器(qi)(qi)的(de)(de)量(liang)(liang)程(cheng)比大大提高傳感器(qi)(qi)的(de)(de)零點穩定(ding)(ding)度高全(quan)量(liang)(liang)程(cheng)高穩定(ding)(ding)性(xing)全(quan)量(liang)(liang)程(cheng)高精(jing)確度和(he)優良的(de)(de)重復性(xing)低(di)功耗低(di)壓(ya)損響應(ying)時間快.
fs4001小流量氣體質量流量傳感器主要(yao)參數：

性能(neng)參(can)數	FS4001		單位
通徑	1.0	1.8	mm
大流量	30, 100, 200	500, 1000	SCCM
量程(cheng)比	≥100:1
精(jing) 度(du)	±(1.5+0.2FS)		%
重復性	0.25		%讀(du)數
零點輸出飄移(yi)	±30		mV
輸出飄移(yi)	±0.12		%/oC
響(xiang)應(ying)時間	4, 8, 16, 33 , 65 , 131		mses
工作電源	8~18Vdc,50mA
輸出(chu)方式	線性(xing)，RS232/模(mo)擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	350	300	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工(gong)作溫度	-10 ~ +55		oC
存儲溫(wen)度	-20 ~ +65		oC
工作濕(shi)度	<95%RH（無(wu)結冰、無(wu)凝(ning)露）
機械(xie)接(jie)口	可拆式軟管接頭
校準(zhun)方式(shi)	空氣（或其他(ta)氣體），20oC，101.325kPa
重量	15		g