流量(liang)測量(liang)技術之微小流量(liang)的(de)測量
半導(dao)體(ti)(ti)制造業(ye)、生物工程、精細(xi)化(hua)工等的興起，使(shi)流(liu)量測量向低(di)端延伸，小流(liu)量計流(liu)量的要求在上世紀80∽90年代(dai)凸(tu)顯起來(lai)。何(he)謂小流量?業界(jie)尚無(wu)*的定(ding)義和(he)界(jie)限(xian)，小(xiao)流量(liang)(liang)因應(ying)用領域而異是(shi)一(yi)個(ge)(ge)模(mo)糊的概念。管道小(xiao)流量(liang)(liang)測量(liang)(liang)體現于管徑小(xiao)和(he)流速低兩個(ge)(ge)層次，就流程工業而言，習慣上DN10甚至DN15以(yi)下管徑流(liu)量(liang)測量(liang)稱之小流(liu)量(liang)測量(liang)，通(tong)常其(qi)流(liu)量(liang)值液體(ti)為1L/min或0.06m3/h以下(xia)，流量儀表滿度流量時(shi)的(de)流速低于0.1m/s。
1、測量方(fang)法
傳統小(xiao)流量測量技術節流差壓(層流)法(fa)(fa)(fa)(fa)、浮子法(fa)(fa)(fa)(fa)和容積(ji)法(fa)(fa)(fa)(fa)等有(you)了的改(gai)進，新測(ce)量(liang)技術如超聲法(fa)(fa)(fa)(fa)、熱法(fa)(fa)(fa)(fa)、科里奧利法(fa)(fa)(fa)(fa)等也有(you)成效地應于液(ye)體和氣體小流量(liang)測(ce)量(liang)。
2、特點
微小流量與一般(ban)流量測量相比較(jiao)，具有以下特點。
1)雷諾(nuo)數低
一(yi)般管道(dao)流(liu)動(dong)(dong)均(jun)為紊(wen)流(liu)流(liu)動(dong)(dong)，流(liu)量儀表(biao)也是針對紊(wen)流(liu)流(liu)動(dong)(dong)態設(she)計的，而(er)小(xiao)流(liu)量儀表(biao)因管徑小(xiao)常處于層(ceng)流(liu)流(liu)動(dong)(dong)(例如管內徑6mm，流量(liang)0.05L/min，Re為1800或層(ceng)流/紊流(liu)過渡區流(liu)態流(liu)動，小流(liu)量測量受使用中流(liu)體(ti)黏(nian)度變化影響頗大(da)。
2)要用(yong)實際使用(yong)流體校準
液體(ti)流(liu)(liu)量(liang)(liang)儀表(biao)一般用水校(xiao)(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)(zhun)，氣體(ti)用空氣校(xiao)(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)(zhun)。若知道實(shi)際(ji)(ji)測量(liang)(liang)流(liu)(liu)體(ti)與校(xiao)(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)(zhun)流(liu)(liu)體(ti)間某些物性(xing)不同對(dui)示值有規律變化時，中大管(guan)徑流(liu)(liu)量(liang)(liang)儀表(biao)常以(yi)適(shi)當系數修正。但有些小流(liu)(liu)量(liang)(liang)儀表(biao)受(shou)黏(nian)度等流(liu)(liu)體(ti)物性(xing)影(ying)響大，須以(yi)實(shi)際(ji)(ji)使用流(liu)(liu)體(ti)校(xiao)(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)(zhun)。所幸流(liu)(liu)量(liang)(liang)小，用實(shi)際(ji)(ji)使用流(liu)(liu)體(ti)校(xiao)(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)(zhun)難度不大，但在(zai)作有害性(xing)流(liu)(liu)體(ti)校(xiao)(xiao)(xiao)準(zhun)(zhun)(zhun)時應注(zhu)意安全和環境污染。
3)要求測量(liang)時防止污染流體(ti)
若(ruo)測量(liang)潔凈氣體(ti)和(he)純水常(chang)不允(yun)許(xu)接觸流(liu)體(ti)的儀(yi)(yi)表零件材料(liao)析出離子，例如半導體(ti)制備中(zhong)儀(yi)(yi)表不能(neng)用金屬(shu)和(he)玻(bo)璃(li)制成(cheng)，只能(neng)用塑料(liao)。流(liu)體(ti)中(zhong)也不允(yun)許(xu)混入(ru)活動件的磨蝕(shi)塵粒。流(liu)量(liang)儀(yi)(yi)表流(liu)通通道要盡可能(neng)簡單，不應有潴留(liu)(指液體在(zai)體內不正常地聚集(ji)停留)部(bu)位，防止(zhi)潴留介質變質。
4)氣泡和塵埃附著(zhu)的影響
因管徑小黏(nian)性(xing)增加(jia)，液(ye)體(ti)中微細氣泡易在(zai)管系流(liu)動過程(cheng)中積(ji)聚變大，使測量時(shi)指示不穩，度下降。流(liu)體(ti)中塵埃(ai)附著測量元件也(ye)要影響(xiang)測量值(zhi)，例如浮(fu)子流(liu)量計的(de)浮(fu)子上(shang)沉積(ji)有(you)肉(rou)眼(yan)覺察不出的(de)附著層也(ye)會影響(xiang)示值(zhi)。
5)流量儀(yi)表(biao)品種使用上受到一定限制
在眾多測量原理流量儀表中，因各種原因小流量應用受到一些限制，當前能應用于小流量的品
種如表格所示
86-020-31199948/85550363
86-020-85628533
